負壓稱量罩也采用垂直單向氣流形式。回流空氣應(yīng)通過初效和中效過濾器進行預(yù)過濾，以除去空氣流中的大灰塵顆粒，從而保護高效過濾器。在離心風(fēng)機提供的壓力下，經(jīng)過預(yù)處理的空氣通過高效過濾器，從而可以達到10000級清潔度的要求。清潔的空氣流被送至供氣箱，其中85％?90％穿過均勻的供氣網(wǎng)孔板，形成均勻的垂直供氣，其中10％?15％穿過空氣量調(diào)節(jié)板卸下設(shè)備。所有氣流均通過高效過濾器進行處理，因此空氣供應(yīng)和排氣中均無殘留灰塵，避免了二次污染。由于在工作區(qū)域中形成了穩(wěn)定的單向流，在該區(qū)域中散發(fā)的灰塵將在單向流的影響下被初級和中效過濾器連同流線一起捕獲。設(shè)備配備了10％?15％的廢氣，在一定程度上相對于外部環(huán)境形成負壓，確保該區(qū)域的灰塵不會擴散到室外，起到保護外部的作用環(huán)境。